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2023-06-20 发布于四川
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固态等离体子天线及其制备方法.pdf

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本发明提供一种固态等离子体天线及其制备方法，属于固态等离体子天线技术领域，其可至少部分解决现有的等离子体天线中的SPIN单元的载流子浓度较低的问题。本发明的固态等离子体天线，包括：衬底基板；设置在衬底基板上的至少一个SPIN单元；其中，所述SPIN单元包括设置在所述衬底基板上的P型半导体区、设置在所述衬底基板上的N型半导体区、设置在所述衬底基板上的本征半导体区；所述P型半导体区、所述N型半导体区、所述本征半导体区同层设置，且所述本征半导体区的载流子浓度大于1018cm‑3。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113314835 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 202110576616.3 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人北京京东方技术开发有限公司

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