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本发明公开了一种基于光谱共焦原理的微气囊三维形貌的测量装置及方法，包括扫描装置、载物装置，扫描装置包括光谱共焦传感器、二维微位移平台和压电微动系统，载物装置与扫描装置连接；光谱共焦传感器设在载物装置下方，由二维微位移平台和压电微动系统带动，可沿X轴、Y轴、Z轴三向的位移；二维微位移平台设在光谱共焦传感器下方，带动光谱共焦传感器沿X轴、Y轴向的位移和扫描运动；压电微动系统设在光谱共焦传感器和二维微位移平台中间，可带动光谱共焦传感器沿Z轴向的位移，调节光谱共焦传感器的焦点位置和工作区域。本发明有利于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113310850 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110658357.9
(22)申请日 2021.06.15
(71)申请人 中国计量大学
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