原创力文档- 1
- 0
- 约1.11万字
- 约 14页
- 2023-06-20 发布于四川
- 举报
一种化学气相沉积设备，包括安置在设备内部的气氛反应室及基体沉积室，气氛反应室与基体沉积室之间设有一分气组件，在气氛反应室内混合、反应完成后的沉积气氛经分气组件进行分气后均匀分散到基体沉积室，基体沉积室的上端连通有多个真空管，真空管的外端连通至真空泵，各真空管上分别设有阀门，各阀门设有控制阀门开闭的执行器，各执行器连接至控制器。本发明可使得基体表面均匀沉积，提高基体的表面沉积质量，降低生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113322446 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110695833.4
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 厦门中材航特科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种具有微调结构的路由器及其通信控制方法.pdf
- 恒定跨导轨到轨输入差分输出的高速可编程增益放大器.pdf
- 一种便捷固定快速连接的锚链强度检测装置.pdf
- 一种宽梯帽形连接装置及制作方法.pdf
- 一种高灵活性的污水处理池.pdf
- 抗泥型聚羧酸减水剂.pdf
- 内嵌式过渡层陶瓷CBN圆弧砂轮及其制备方法.pdf
- 用于语音识别的方法和装置.pdf
- 一种脱硝催化剂及其制备方法和应用.pdf
- 一种确保车辆正常缴费出场的方法.pdf
- 2024-2025学年广西壮族自治区柳州市三江侗族自治县统编版一年级上册期末考试语文试卷.docx
- 老年患者静脉输液护理.pptx
- 老年患者骨质疏松护理.pptx
- 第9课 20世纪以来人类的经济与生活 教案--高二历史统编版选择性必修2经济与社会生活.docx
- 5.2土壤第一课时（教学设计）高中地理人教版必修第一册.docx
- 第三章 水溶液中的离子反应与平衡（单元解读讲义）高中化学人教版2019选择性必修1.docx
- 第4章 氧化还原反应和电化学（单元解读讲义）高中化学沪科版2020选择性必修1.docx
- 第四章 化学反应与电能（单元解读讲义）高中化学人教版2019选择性必修1.docx
- 第四章 原子结构和化学键（单元解读讲义）高中化学沪科版2020必修第一册.docx
- 第三单元 化学平衡的移动 第2课时（教学设计）高中化学苏教版2019选择性必修1.docx
文档评论（0）