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光学装置、物品制造方法以及光学部件制造方法.pdfVIP

光学装置、物品制造方法以及光学部件制造方法.pdf

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    本公开涉及光学装置、物品制造方法以及光学部件制造方法。曝光装置构成为具备：光源，射出具有连续的波长域的光；以及至少1个光学元件，设置有包含光触媒膜的光学膜，从所述光源射出的光经由所述至少1个光学元件入射到被照射面。从所述光源射出并经由所述至少1个光学元件入射到所述被照射面的光的波长域的下限波长由所述光触媒膜的光吸收特性决定。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113311667 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 202110147111.5 (22)申请日 2021.02.03 (30)优先权数据 2020-0200

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