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一种弹性波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种弹性波谐振器及其制备方法.pdf

    本发明提供一种弹性波谐振器及其制备方法，所述弹性波谐振器至少包括：支撑衬底；压电层，形成于所述支撑衬底的上表面；叉指电极，形成于所述压电层的上表面；反射增强结构，至少形成于所述叉指电极的左右两侧，且形成于所述压电层的上表面及/或所述压电层中。通过本发明提供的弹性波谐振器及其制备方法，改善了现有弹性波谐振器声学能量泄露的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113328723 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110665708.9 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术

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