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本发明提供一种直拉硅单晶用炉盖,包括盖体,在所述盖体靠近晶体一侧设有用于防止所述盖体直接长时间暴露在高温环境下形成游离的金属离子的叠层内衬,所述叠层内衬设置在所述盖体内壁并沿所述盖体径向圆周设置。本发明还提供一种直拉硅单晶用炉盖的制作方法。本发明提出的炉盖,是在盖体内侧涂覆一叠层内衬,即能保护炉盖内壁结构,又能防止炉盖内壁形成一层金属离子,提高炉盖的使用寿命,提高直拉单晶晶体品质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113355735 A
(43)申请公布日
2021.09.07
(21)申请号 20201
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