大单晶比例铸锭单晶制备方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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大单晶比例铸锭单晶制备方法.pdf

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本发明公开了大单晶比例铸锭单晶制备方法，首先制备籽晶并且进行籽晶熔接，籽晶熔接完成后，通过缓慢降温，使得籽晶先进行横向生长，即从籽晶的四个侧面向外进行生长，当晶体横向长满整个坩埚底部达到四面的坩埚壁时，筑基阶段完成后，晶体开始向上的垂直生长，直到晶体长到距顶部还有20～50mm时，保持顶部的正向温度梯度，以确保顶部硅液不会发生先行凝固成壳的情况，保持顶部温度1550℃，实现顶部定向加热，晶体开始生长，整个长晶过程会持续24小时左右；在1356℃退火2小时、并冷却10小时即得大单晶硅锭；本发明能够

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113373515 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110632333.6 (22)申请日 2021.06.07 (71)申请人苏州步科斯新材料科技有限公司

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