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本发明公开了一种供气调节装置，属于稀有气体同位素分析技术领域，包括储气箱和供气箱，储气箱的进气端和供气箱的出气端均设有阀门，供气箱与供气箱之间也设有阀门，供气箱体积可调且大于供气箱，通过供气箱、储气箱和各阀门之间的配合能够实现同一批气体，等量多次供气；还公开了一种He气同位素分析系统及分析方法，包括稀有气体纯化装置、质谱仪，储气箱的进气端与稀有气体纯化装置连通，供气箱的出气端与质谱仪进气端连通，质谱仪出气端与稀有气体纯化装置连通，稀有气体纯化装置可提出气体得到纯净的He气，通入供气调节装置后，将
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113339703 B
(45)授权公告日 2022.03.08
(21)申请号 202110766362.1 G01N 1/34 (2006.01)
(22)申请日 2
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