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2023-06-21 发布于四川
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一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统.pdf

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本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，与现有技术相比，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与上位机连接的PLC主控模块；与PLC主控模块连接的控制管理模块；连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块；与第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块；与第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块；与第一控制模块以及第二控制模块通信连接的通讯会话系统；设于镀膜工艺设备上，与通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113355645 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110554396.4 (22)申请日 2021.05.20 (71)申请人湖南宇诚精密科技有限公司

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