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微小光学零件表面轮廓的白光干涉拼接测量装置及方法.pdfVIP

微小光学零件表面轮廓的白光干涉拼接测量装置及方法.pdf

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    本发明公开了一种微小光学零件表面轮廓的白光干涉拼接测量装置及方法，本发明装置的隔振平台分别设有Z向平移调整机构和四轴调整台，Z向平移调整机构上设有带干涉显微物镜的白光干涉仪，四轴调整台上安装有绕Y向旋转的俯仰转台，俯仰转台上安装有绕Z向旋转的回转转台，回转转台上安装有对心机构，对心机构上设有用于安装被测光学零件的弹性夹具，俯仰转台与回转转台的轴线交汇于被测光学零件的曲率半径中心。本发明装置可用于旋转对称非球面、衍射光学元件、计算全息光学元件等光学复杂曲面零件的表面轮廓干涉测量，具有通用性强、结构

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113340232 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 202110583883.3 (56)对比文件

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