一种用于改善蚀刻极差均匀性的调整装置.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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一种用于改善蚀刻极差均匀性的调整装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于改善蚀刻极差均匀性的调整装置，包括内线圈，所述内线圈的外侧安装有外线圈固定绝缘板，所述外线圈固定绝缘板的底端安装有XY调整机构，所述XY调整机构的底部连接有支撑内线圈的固定内线圈手臂。通过本实用新型转动Y轴调整杆，带动第一调整块移动，调整Y轴方向的位置，再转动X轴调整杆，带动第二调整块移动，调整X轴方向的位置，直至将测量内线圈和外线圈固定绝缘板对应的圆为同心圆，在使用过程中再根据产品的均匀性需要对X、Y轴方向进行调整，调整起来更加便利，缩短了调整产品极差的时间，剩余的时间

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219226238 U (45)授权公告日 2023.06.20 (21)申请号 202320241109.9 (22)申请日 2023.02.17 (73)专利权人福建三荣科技有限公司地址 3