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本发明公开了基于飞秒激光结合超分辨透镜的光纤探针制备装置及方法,准直器设置于飞秒激光光源的出射光路上,半透半反镜设置于准直器的出射光路上,超分辨透镜设置于半透半反镜的透射光路上,透镜设置于半透半反镜的反射光路上,成像装置设置于透镜焦点处;三维位移平台设置于超分辨透镜的下方,三维位移平台上设有光纤夹持装置;超分辨透镜上具有若干同心的透光带以及设置于透光带之间的遮光带,透光带得形状为圆环形,所有透光带的衍射光之间满足相位干涉条件。本发明中的超分辨透镜能够形成细长的光针,既能够保证成像分辨率、提高加工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113352000 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110626856.X (56)对比文件
(22)申请日 2021.06.04
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