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本发明提供一种基于相变材料的空间可分辨热辐射超表面器件及其制备方法与装置，超表面器件包括依次设置在衬底上的反射层、间隔层、相变材料层；相变材料层中包含多个相变单元；可选择地在相变材料层外表面设置保护层，保护层在特定波长范围内的光波透明。制备方法包括在衬底上依次沉淀反射层、间隔层、相变材料层和保护层；通过激光脉冲照射，在相变材料层被照射区域发生相态转变，形成多个相变单元。装置包括激光器、聚焦组件、位移平台和计算机。上述制备方法实现了非易失性的热辐射动态调控，激光直写方式实现空间可分辨的热辐射调控，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113340430 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110562829.0
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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