单晶硅棒拉晶方法、装置、存储介质及电子设备.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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单晶硅棒拉晶方法、装置、存储介质及电子设备.pdf

本公开涉及一种单晶硅棒拉晶方法、装置、存储介质及电子设备，属于单晶硅制备领域，该方法包括：在单晶硅棒拉晶引晶缩颈完成后，若引晶时长达到任意一个或多个计算周期，计算所述单晶硅棒在所述一个或多个计算周期内的平均拉速；根据所述单晶硅棒在所述一个或多个计算周期内的平均拉速，控制埚转转速和/或氩气流量和/或输出功率。通过设置不同时长的计算周期，并在拉晶过程中达到计算周期时，计算单晶硅棒在该计算周期内的平均拉速，根据对应的计算周期以及该周期内的平均拉速，对埚转转速、氩气流量或者输出功率进行差异化调整，以控制

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116265623 A (43)申请公布日 2023.06.20 (21)申请号 202111555351.5 (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址

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