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本发明涉及一种用于从等离子体羽流中过滤颗粒的过滤器，其包括：壳体，该壳体有两个穿透开口，穿透开口布置在壳体壁中，并形成用于至少一部分等离子体羽流穿过壳体的穿透槽道，穿透槽道从壳体的一侧延伸至相对侧；至少一个第一叶片，其布置在离旋转轴线一定距离处且可绕其旋转，旋转轴线与穿透槽道的中心线平行和间隔开，至少一个第一叶片的通路与穿透槽道相交，至少一个第一叶片有用于与等离子体羽流接触的接触表面，接触表面面向旋转方向；排出槽道，排出槽道与布置在壳体壁中的排出开口连接，其中，与穿透槽道的中心线和从旋转轴线延伸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113355641 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110191074.8 B01D 46/00 (2006.01)
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