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对将第二基板与形成有器件层的第一基板接合而成的重合基板进行处理的基板处理装置具有:保持部,其保持所述第二基板的背面;处理部,其对保持于所述保持部的所述第一基板进行处理;第一处理液供给部,其向所述第一基板中与所述器件层相反的一侧的表面供给第一处理液,来蚀刻该第一基板的表面;以及第二处理液供给部,其向所述第二基板的背面供给第二处理液,来去除该第二基板的背面的金属污染。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113348534 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202080009765.5 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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