- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种处理基板的方法,包括:在基板的顶上沉积未固化的聚合物材料的层,以覆盖基板上的暴露导电层;使用光刻处理暴露层的至少一个区域;在光刻处理中显影层以从至少一个区域移除未固化的聚合物材料的第一部分;通过干式蚀刻处理蚀刻层,以从至少一个区域移除未固化的聚合物材料的第二部分,以暴露导电层的顶表面并在层中形成通孔;以及固化层以形成固化的聚合物材料。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113348544 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202080009732.0 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
您可能关注的文档
- 一种针对退服基站的故障类型确定方法和装置.pdf
- 电子膨胀阀螺母座结构及其安装方法.pdf
- 一种拉晶设备及方法.pdf
- 化合物7-碘吡咯并[2,1-f][1,2,4]三嗪-4-胺的一种新合成方法.pdf
- 电磁发电机.pdf
- 基于低匝数高电压变比平面变压器和集成磁件的高电压变比LLC谐振变换器.pdf
- 节能发电一体式电动机.pdf
- 多线段式节能电动机.pdf
- 多线段节能发电一体式电动机.pdf
- 电压监控装置以及其电压检测电路.pdf
- GB/T 39560.10-2024电子电气产品中某些物质的测定 第10部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物和电子件中的多环芳烃(PAHs).pdf
- 中国国家标准 GB/T 39560.10-2024电子电气产品中某些物质的测定 第10部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物和电子件中的多环芳烃(PAHs).pdf
- 《GB/T 39560.10-2024电子电气产品中某些物质的测定 第10部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物和电子件中的多环芳烃(PAHs)》.pdf
- GB/T 39560.302-2024电子电气产品中某些物质的测定 第3-2部分:燃烧-离子色谱法(C-IC)筛选聚合物和电子件中的氟、氯和溴.pdf
- 中国国家标准 GB/T 39560.2-2024电子电气产品中某些物质的测定 第2部分:拆解、拆分和机械制样.pdf
- 中国国家标准 GB/T 39560.302-2024电子电气产品中某些物质的测定 第3-2部分:燃烧-离子色谱法(C-IC)筛选聚合物和电子件中的氟、氯和溴.pdf
- GB/T 39560.2-2024电子电气产品中某些物质的测定 第2部分:拆解、拆分和机械制样.pdf
- 《GB/T 39560.2-2024电子电气产品中某些物质的测定 第2部分:拆解、拆分和机械制样》.pdf
- 《GB/T 39560.303-2024电子电气产品中某些物质的测定 第3-3部分:配有热裂解/热脱附的气相色谱-质谱法(Py/TD-GC-MS)筛选聚合物中的多溴联苯、多溴二苯醚和邻苯二甲酸酯》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 39560.303-2024电子电气产品中某些物质的测定 第3-3部分:配有热裂解/热脱附的气相色谱-质谱法(Py/TD-GC-MS)筛选聚合物中的多溴联苯、多溴二苯醚和邻苯二甲酸酯.pdf
文档评论(0)