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本发明公开了一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，包括结构相同且对称布置的上外壳和下外壳，上外壳和下外壳装配成一内设有中空腔室的整体；中空腔室相对的两端分别通过外壳上开设的入口孔即组织液入口和出口孔即组织液出口与外部连通；中空腔室内布置有将中空腔室分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间设有悬臂梁，悬臂梁上固定有坡莫合金和压电材料。本发明的传感器，结构简单，尺寸小；效率高，制造
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376377 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110431520.8
(22)申请日 2021.04.21
(71)申请人 上海工程技术大学
地址
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