原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种氢气传感器芯体及其制备方法和氢气传感器，该氢气传感器芯体包括半导体衬底以及在其上设置的源极和漏极、沟槽区、介质层、氢气敏感层和金属电极层。其制备方法包括在半导体衬底上述制备源极和漏极、沟槽区、介质层、氢气敏感层和金属电极层。本发明氢气传感器芯体具有检测下限低、灵敏度高、响应时间短等优点，由其制备的氢气传感器，能够检测到的氢气浓度下限非常低，达50ppm，能及早发现微弱氢气的泄露，起到提前报警的作用；响应时间小于60s，能实时监测环境中氢气浓度的变化；灵敏度达到105A/A以上，能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113406161 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110619794.X
(22)申请日 2021.06.03
(71)申请人 中国电子科技集团公司第四十八研
文档评论（0）