一种双向瞬态电压抑制器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种双向瞬态电压抑制器件及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种双向瞬态电压抑制器件及其制备方法，属于半导体保护器件领域，包括：衬底、阱区；阱区包括第一预设区域和第二预设区域，第一预设区域内包括间隔布设的第一掺杂区；第二预设区域包括：场掺杂区，场掺杂区间隔布设于阱区内；第二掺杂区，设置于场掺杂区之间，第二掺杂区的邻边与场掺杂区紧密贴合，且第二掺杂区分别位于每个第一掺杂区的上表面；场氧化层自场掺杂区内形成，且凸出于场掺杂区。本发明技术方案的有益效果在于：同时具有击穿电压低，负阻特性更大的特性，因此具有更低的钳位电压，因此具有超低触发电压和超低钳

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113380787 B (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202110927439.9 H01L 21/8222 (2006.01) (22)申请日