处理晶片的设备及控制该设备的方法.pdfVIP

处理晶片的设备及控制该设备的方法.pdf

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一种用于处理晶片的设备包含：可旋转卡盘，其适于接收晶片；加热组件，其包含加热元件阵列，该加热元件阵列被配置用于加热由该可旋转卡盘所接收的晶片；图像传感器，其被配置用于检测来自该晶片的表面的电磁辐射；以及控制器，其设置用于基于该图像传感器的测量输出来控制供应到该加热元件阵列的功率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396473 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080012835.2 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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