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试样保持工具(100)具备绝缘基体(1)和发热电阻体(4),还具备支承体(2)和接合材料(3)。绝缘基体(1)是具有第1面(1a)以及与该第1面(1a)相反的一侧的第2面(1b)的陶瓷体,发热电阻体(4)设置在绝缘基体(1)的第2面(1b)。绝缘基体(1)的第2面(1b)具有发热电阻体(4)所在的第1部分(21)、包围第1部分(21)的周围的第2部分(22)、以及设置在第1部分(21)与第2部分(22)之间的槽部(23)。该第1部分(21)的表面粗糙度比第2部分(22)的表面粗糙度大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113396535 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202080012876.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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