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光微影系统控制方法、其设备及非暂时性计算机可读取媒体.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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光微影系统控制方法、其设备及非暂时性计算机可读取媒体.pdf

    揭示了一种光微影系统控制方法、其设备及非暂时性计算机可读取媒体，控制极紫外光微影系统的方法包括：利用EUV辐射照射目标液滴，侦测目标液滴反射的EUV辐射，决定侦测到的EUV辐射像差，决定对应于像差的泽尼克多项式，以及执行校正动作以减少泽尼克多项式的泽尼克系数的偏移。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113391523 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110203702.X (22)申请日 2021.02.23 (30)优先权数据 16/926,48

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