质量分析装置以及质量分析方法.pdfVIP

质量分析装置以及质量分析方法.pdf

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本发明涉及一种质量分析装置，具备在内部配置有离子化部、质量分离部与检测部的真空容器，该质量分析装置具备：开闭部，设置于真空容器，利用真空容器的内部与外部的压力差来切换以关闭状态锁定的状态与锁定解除的状态；冷却用气体导入部，将用于冷却离子化部的冷却用气体导入真空容器，从而保持开闭部的锁定的状态。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113412532 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 201980091333.0 (51)Int.Cl.

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