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本发明提供一种推断器及真空阀，所述推断器不论校正用气体的气体种类如何，均可求出腔室容积。推断器(1)包括获取多个包含阀(3)的阀体开度(θ)与所述阀体开度(θ)中的腔室压力(Pm)的数据对(θ、Pm)的获取部、以及对气体种类特性值(a0)及腔室容积推断值(V0)进行运算的运算部(11)。运算部(11)基于表示实效排气速度、被导入的气体的流量(Qin)、腔室容积及腔室压力之间的关系的排气的式子，已获取的多个数据对(θ、Pm)，以及与规定已知气体相关的阀体开度(θj)和实效排气速度(Se)的关联数据
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113391655 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110176503.4
(22)申请日 2021.02.09
(30)优先权数据
2020-0443
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