原创力文档- 1
- 0
- 约1.78万字
- 约 23页
- 2023-06-22 发布于四川
- 举报
本发明提供一种基片输送系统、真空基片输送模块和基片输送方法。基片输送系统包括基片处理模块、大气基片输送模块、第1真空基片输送模块、第2真空基片输送模块、负载锁定模块和真空基片输送机械臂。第1真空基片输送模块与大气基片输送模块和基片处理模块相邻地配置，具有第1输送空间。第2真空基片输送模块配置在第1真空基片输送模块之上或之下，具有与第1输送空间连通的第2输送空间，且具有俯视时比第1真空基片输送模块小的外形尺寸。负载锁定模块配置在大气基片输送模块与第2真空基片输送模块之间。真空基片输送机械臂配置在第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394143 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110224166.1
(22)申请日 2021.03.01
(30)优先权数据
2020-0418
您可能关注的文档
- 黑麦草内酯生产性高的新型微藻类.pdf
- 使用以各种形式从图像划分出的块的视频编码方法和设备以及视频解码方法和设备.pdf
- 食品加工设备和方法.pdf
- 支持程序、信息处理装置、以及印刷方法.pdf
- YAP1表达的调节剂.pdf
- 用于OCT图像转化、眼科图像去噪的系统及其神经网络.pdf
- 透气性覆板和使用其的方法.pdf
- 用于贝叶斯神经形态编译器的网络构成模块.pdf
- 饮用吸管、包装组件和用于生产饮用吸管的方法.pdf
- 模块化家具支撑系统.pdf
- （正式版）DB41∕T 3019-2025 《超设计年限液化石油气钢瓶安全评估规则》.pdf
- CN109891892B 依赖于图像编译系统中的帧内预测的图像解码方法和装置 （Oppo广东移动通信有限公司）.docx
- CN111095985B 传输数据的方法、终端设备和网络设备 （Oppo广东移动通信有限公司）.docx
- CN112100969B 时序分析方法、电路、装置及存储介质 （Oppo广东移动通信有限公司）.docx
- CN120100973B 一种智能泄漏预警柔性复合管道系统及预警方法 （东北石油大学三亚海洋油气研究院）.docx
- （正式版）DB11∕T 2471.2-2025 《智能网联汽车封闭试验场地测试技术规范 第2部分：无人配送车》.pdf
- （正式版）DB11∕T 2482-2025 《城镇公共供水服务规范》.pdf
- （正式版）DB11∕T 2492-2025 《消防通信指挥系统应用规范》.pdf
- （正式版）DB32∕T 5267-2025 《 城市桥梁数字孪生监测系统设计标准》.pdf
- （正式版）DB32∕T 5242-2025 《 农产品质量安全检测化学试剂合规性评价规范》.pdf
文档评论（0）