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本发明公开了一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，涉及机械手技术领域；包括底座、和底座滑动连接的用以支撑晶圆的手指、用以驱动手指在底座上运动的驱动装置、若干组和底座固接的对射传感器、用以移动底座的机械臂；对射传感器的组数量至少组，对射传感器处于一个虚拟圆上，虚拟圆的半径和晶圆的半径适配；手指包括和底座滑动连接的滑块、和滑块固接的呈C字形的指部、位于指部内侧的若干用以给晶圆限位的限位块、和限位块固接的用以支撑晶圆下侧的支撑板；对于标准尺寸的晶圆，其半径标准，限位块均抵靠在晶圆的边缘处，将该晶圆的圆心
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113436992 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110642044.4
(22)申请日 2021.06.09
(71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司
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