原创力文档- 1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种具有复合层结构的高压HEMT器件，包括：衬底、设置在衬底上的非故意掺杂的AlxGa1‑xN层，设置在AlxGa1‑xN层上的非故意掺杂的GaN层、设置在GaN层表面上非故意掺杂的梳指状AlyGa1‑yN层，梳指状AlyGa1‑yN层为从漏区向源区方向延伸的平行的AlyGa1‑yN条状区域，这些条状区域在漏区及漂移区邻近漏区的部分连为一体，梳指状AlyGa1‑yN层表面上设有源极、漏极和栅极；本发明提出的HEMT器件在保证高击穿电压的同时实现了较小的寄生电容，适用于对于输出功率和工作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113394283 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110709031.4 H01L 21/335 (2006.01)
(22)申
您可能关注的文档
- 一种链路分段性能测试方法及装置.pdf
- 一种EVA发泡材料及其制备方法与应用.pdf
- 一种疏油纳米网格及其制备方法和应用.pdf
- 一种岩石修复面的剪切试验装置以及实验方法.pdf
- 一种基于arduino的智能小车.pdf
- 一种风力发电的风机叶片成型模具及其成型工艺.pdf
- 基于知识图谱的问答系统和方法.pdf
- 企业金融服务风险预测方法及装置.pdf
- 一种低压配电设备一体化教学实训系统.pdf
- 一种原位负载聚多巴胺的壳聚糖复合支架材料及其制备方法.pdf
- 2024年江西省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）物理试卷（含答案详解）.pdf
- 2025年四川省新高考八省适应性联考模拟演练（二）地理试卷（含答案详解）.pdf
- 2024年内蒙通辽市中考化学试卷（含答案逐题解析）.docx
- 2024年四川省攀枝花市中考化学试卷真题（含答案详解）.docx
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）化学试卷（含答案）.pdf
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.pdf
- （一模）长春市2025届高三质量监测（一）生物试卷（含答案）.pdf
- 2024年湖南省高考政治试卷真题（含答案逐题解析）.docx
- 2024年安徽省高考政治试卷（含答案逐题解析）.docx
文档评论（0）