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本发明提供一种集成式洁净室空气净化系统及控制方法,它包括新风机组、进风分配阀、空气净化系统和循环机组;新风机组和回风管路分别与进风分配阀的分配口连通,进风分配阀的总风口与空气净化系统连通,空气净化系统与循环机组连通;循环机组与洁净室的供风装置连通,洁净室与回风管路连通;进风分配阀调节新风机组与回风管路的进风配比。本发明以较高的自动化程度,使系统冗余度较低,实现成本较低,以大幅降低能耗。本发明的控制方法,能够对洁净室供应空气的湿度、温度、压力和流量进行高效率的自动控制,且能够通过对进风分配阀和送风
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113418249 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202110679684.2 F24F 8/192 (2021.01)
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