一种电容式微机械加速度计.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种电容式微机械加速度计.pdf

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本发明涉及一种电容式微机械加速度计，它包括衬底、固支框架结构、敏感质量块框架结构、在衬底上固定固支框架结构的锚点、在衬底上固定加速度计敏感质量块框架结构的锚点、连接固支框架结构与敏感质量块框架结构的单自由度弹性梁、连接敏感质量块框架结构与锚点的单自由度弹性梁、检测电极单元；所述检测电极单元由非可动电极、固定非可动电极的锚点、连接于加速度计敏感质量块框架结构的可动电极组成。本发明由于采用轴对称结构并将可动结构锚点置于同一条对称轴上，可以使加速度计性能对环境温度变化和加工误差不敏感。本发明可以广泛应

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113391094 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 20201