一种基于金属银牺牲层的石墨烯转移方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种基于金属银牺牲层的石墨烯转移方法.pdf

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本发明公开了一种基于金属银牺牲层的石墨烯转移方法，采用化学气相沉积法在金属基底上生长石墨烯，将银均匀沉积在所述石墨烯上，旋涂聚甲基丙烯酸甲酯，用刻蚀液刻蚀掉金属基底，最后使用丙酮除去聚甲基丙烯酸甲酯，硝酸刻蚀银，完成石墨烯的转移。在石墨烯的表面上均匀地沉积了一层金属银，可以避免石墨烯与聚甲基丙烯酸甲酯直接接触，从而避免了石墨烯处于一个重P掺的状态也避免了石墨烯转移过程中有机物的残留。金属银的均匀覆盖还会使石墨烯完全展开，便于石墨烯转移到目标基底上。通过银氨溶液和葡萄糖反应产生的银均匀沉积在石墨烯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113401893 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110566155.1 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人广西师范大学地址