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本发明提供了一种光掩模盒及其耐磨件，特别是一种具有耐磨件的光掩模盒。其中，该光掩模盒为一种大尺寸光掩模盒且为直立式，用以容置光掩模，主要包括一上盖体与一盒体，该盒体用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光掩模。该盒体外设置有一导位块，该导位块可以协助导正盒体与上盖体的相对位置，该盒体内接触直立式光掩模的接触面设置有至少一卡槽，而该卡槽上设置有至少一耐磨组。其中，该耐磨组更包括一设置于卡槽上部的第一耐磨件以及一设置于该卡槽下部的第二耐磨件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113433793 A
(43)申请公布日
2021.09.24
(21)申请号 20201
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