废气处理装置及其排气湿度控制方法.pdfVIP

下载本文档

5
0
约1.28万字
约 11页
2023-06-22 发布于四川
举报
版权申诉

废气处理装置及其排气湿度控制方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。一种废气处理装置包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。本申请的废气处理装置通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113413746 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110750312.4 B01D 53/18 (2006.01)