一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架.pdf

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本发明提供了一种耐辐照石英玻璃的制备方法及制备用坩埚和料架,目的是解决现有石英玻璃无法经受激光的多频次长周期照射而出现损伤破坏的技术问题。耐辐照石英玻璃的制备方法，包括如下步骤：S1，槽沉锭料预处理；S2，调节槽沉炉内至微正压氢气氛围，槽沉锭料置于槽沉炉内高温摊铺成摊成光学石英玻璃毛坯，同步预氢化处理；S3，维持炉内微正压氢气氛围，将光学石英玻璃毛坯随炉降温至一定温度；S4，增大氢气供给，提高炉内压力至一定压力后，对光学石英玻璃毛坯进行保温保压氢化处理；S5，维持氢气氛围，光学石英玻璃毛坯随炉慢

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113415978 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 202110752145.7 C03B 5/16 (2006.01) (22)申请日 2021.07.

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