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2023-06-22 发布于四川
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本发明提供加工装置，该加工装置通常监视加工装置的排气管道内的压力而对排气管道内的暂时的负压的大小的降低不发出警报。加工装置一边向卡盘工作台所保持的被加工物提供加工水，一边利用具有主轴的加工单元对被加工物进行加工，其中，该加工装置具有：加工室，其覆盖卡盘工作台和加工单元的一部分；以及排气管道，其与加工室连接，排气管道具有：排气路径，其一端与加工室连接，另一端与具有吸引源的排气单元连接；以及箱体，其经由形成于排气管道的侧面的开口部而与排气路径连通，该箱体在内部包含压力传感器，开口部具有如下大小：该大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113427339 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110228175.8 (22)申请日 2021.03.02 (30)优先权数据