一种光学临近效应修正方法、装置、设备及介质.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种光学临近效应修正方法、装置、设备及介质.pdf

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本发明实施例公开了一种光学临近效应修正方法、装置、设备及介质，其中光学临近效应修正方法包括：根据目标图形的设计规则，制作测试图形光罩；获取光学临近效应修正模型所需的数据，并建立光学临近效应修正模型；获取测试图形的线端回缩数据，并建立线端回缩规则表；根据线端回缩规则表，确定初始修正值；根据初始修正值和光学临近效应修正模型对目标图形进行修正。本发明实施例提供的方法通过建立线端回缩规则表确定初始修正值，利用初始修正值进行光学临近效应修正，可以有效提高光学临近效应修正在修正线端回缩时的收敛性，提高修正效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113391516 B (45)授权公告日 2022.03.04 (21)申请号 202010175353.0 审查员黄倩 (22)申请日 2020.03.13