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本发明公开了一种改善传送手臂与载盘之间温差的方法及传送手臂结构，所述方法是在传送手臂表面设置与晶圆载盘材质相同的导热条，将导热条固定于传送手臂与晶圆载盘接触的表面。所述传送手臂结构包括陶瓷手臂主体，陶瓷手臂主体设有载盘承托区和散热区，所述陶瓷手臂主体上设有导热条，所述导热条自陶瓷手臂主体上的载盘承托区表面延伸至散热区表面。本发明与现有技术相比的优点是：有效的解决了铝质晶圆载盘和陶瓷传送手臂间原本存在的热量积聚，使得这部分热量可以快速散发，抑制了超薄片因热量难以散发而造成的卷曲现象。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113421844 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110835695.5
(22)申请日 2021.07.23
(71)申请人 上海稷以科技有限公司
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