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处理室冷却系统.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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处理室冷却系统.pdf

    提供了一种装置。该装置包括处理室。衬底支撑件在处理室内，其中衬底支撑件用于与衬底热接触。冷却系统冷却衬底支撑件。冷却系统包括第一制冷系统。第一制冷系统包括用于从制冷系统外部的第一制冷剂源接收第一制冷剂的第一制冷剂入口，其中第一制冷剂处于第一压强下；第一节气门，其中第一节气门使得第一制冷剂能受控膨胀，其中第一制冷剂的膨胀冷却第一制冷剂；第一传热系统，其用于吸收热量并将热量传递给冷却的第一制冷剂；以及第一制冷剂返回件，其用于将来自第一制冷系统的在第二压强下的第一制冷剂引导远离第一制冷系统。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396472 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202080011967.3 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263

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