离子铣削装置以及离子铣削方法.pdfVIP

离子铣削装置以及离子铣削方法.pdf

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本发明提供一种加工技术，其能够抑制在加工面产生再沉积的可能性，并且获得所需的加工内容。为了解决该问题，根据本发明的离子铣削装置具有：离子源(1)，其发出离子束；试样保持部，其保持试样；以及试样滑动移动机构(70)，其使试样保持部沿包括离子束的轴的法线方向成分的方向滑动移动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410112 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110696658.0 (22)申请日 2016.02.26 (62)分案原申请数据 2016800

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