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具有可调接头的衬底操作装置.pdfVIP

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  • 2023-06-22 发布于四川
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具有可调接头的衬底操作装置.pdf

    本公开涉及一种可调接头，用于插入用于衬底加工的衬底操作器的联动装置中。可调接头允许调节附接连杆的俯仰和翻滚。这样的调节可以允许将末端执行器的拾取表面对准期望平面。在调节之后，可以固定接头以保持附接连杆的期望取向。可调接头允许校正由于例如由高温使用引起的下垂、机械公差和/或安装误差而造成的末端执行器的拾取表面相对于期望拾取平面的偏转。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388828 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110234936.0 (22)申请日 2021.03.03 (30)优先权数据 62/988,21

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