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一种超细空心微针芯片的制备方法,以硅基片为主体,采用半导体制造技术,先制造出超细针体结构,再制造出针尖斜面,然后从硅基片背部打开连通针面的通道。本发明提供的空心硅针,在深硅蚀刻过程中,氮化硅能够加快内部蚀刻反应,使得针体更细;在此基础上,利用Si晶面各向异性湿法刻蚀出针尖和针面角度,使得针体更易穿透皮肤组织,从而进行给药。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113443603 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110737212.8
(22)申请日 2021.06.30
(71)申请人 苏州恒之清生物科技有限公司
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