一种双通道固态源实现分区加热的方法及设备.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种双通道固态源实现分区加热的方法及设备.pdf

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本发明公开了一种双通道固态源实现分区加热的方法及设备，包括：步骤A：在加热腔体内设置由相控阵天线单元组成的天线阵列；双通道固态源通过功分器分为两路微波信号，其中一路微波能量通过功分器和放大器连接相控阵天线单元；步骤B：电磁能量通过作为馈源的天线阵列对加热腔进行馈电，将加热腔分成3个区域，通过调节移相器对3个区域进行指向性加热。通过调节移相器，实现加热腔内分区加热；通过微控制器控制控制移相器及双通道固态源的频率、输出功率及工作时间，控制移相器、双通道固态源的频率、输出功率及工作时间，可实现均匀加热

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113473662 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110809366.3 (56)对比文件