用于升华法生长氮化铝晶体的复合型坩埚装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约6.82千字
约 7页
2023-06-23 发布于四川
举报
版权申诉

用于升华法生长氮化铝晶体的复合型坩埚装置.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

用于升华法生长氮化铝晶体的复合型坩埚装置。本发明公开了一种生长氮化铝晶体的坩埚装置，包括保温层，其内具有空腔，所述保温层上设置有与所述空腔连通的开口；坩埚，其设置在所述空腔内，坩埚体采用高纯度金属钨材料，坩埚盖采用碳化钽材料。本发明装置能够在保持较高晶体生长速率的前提下，降低晶体的径向温差，从而实现氮化铝晶体的快速稳定生长。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113463188 B (45)授权公告日 2022.07.19 (21)申请号 202110701980.8 C30B 29/40 (2006.01) (22)申请日 2021.06