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- 2023-06-23 发布于四川
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本发明公开了一种ALD前驱体钛配合物的制备方法，包括以下步骤：（1）将2,2,6,6‑四甲基‑3,5‑庚二酮、四氯化钛与有机溶剂混合均匀，滴入有机胺，在搅拌的条件下发生反应；（2）反应结束后，向反应液中滴加异丙醇，搅拌后过滤，去除沉淀物；（3）减压蒸干滤液，即得到所述ALD前驱体钛配合物。本发明的工艺操作条件便利，一锅法得到目标产物；反应过程平和，无需加热，能耗低，安全性高；原料来源广泛便宜，产物收率高，工艺稳定性好；反应过程中没有引入其他金属元素（钛除外），得到的产品金属纯度高，符合ALD技术
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113493476 B
(45)授权公告日 2021.11.30
(21)申请号 202111045360.X (51)Int.Cl.
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