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2023-06-23 发布于四川
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极紫外光光刻方法和系统.pdf

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本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求；根据所述极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成液滴靶材对应的多路脉冲激光；将多路脉冲激光聚焦于液滴靶材，以使液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请针对光源驱动能量不足的问题，将多路脉冲激光经过聚焦后作用于液滴靶材，从而生成激光等离子体，通过多路激光的叠加来获得打靶所需的高能量，可以有效提高光刻光源的发光效

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113433804 B (45)授权公告日 2023.04.14 (21)申请号 202110843419.3 (56)对比文件 (22)申请日 2021.07.26

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