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一种具有止动件的微机电系统微镜装置及其制造方法，其中该装置包括中间基板、可移动结构、与可移动结构耦接的至少一个止动件、至少一个挠性件、上盖以及下盖。可移动结构包括具有反射表面的微镜板。挠性件连接止动件及中间基板。与中间基板接合的上盖具有用于允许可移动结构的移动的第一开口，以及具有面向挠性件的第一侧以及止动件的第一侧的至少一个第一凹部。与中间基板接合的下盖具有用于为所述移动留出空间的第二开口，以及具有面向挠性件的第二侧以及止动件的第二侧的至少一个第二凹部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113448078 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202010865988.3
(22)申请日 2020.08.25
(30)优先权数据
16/828,98
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