直拉硅单晶的掺杂装置及方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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直拉硅单晶的掺杂装置及方法.pdf

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一种用于直拉硅单晶的掺杂装置及方法，属于直拉法生产单晶硅设备技术领域，包括石英内胆、石英钟罩和石英杯，在石英钟罩内设置石英内胆，石英杯内置于石英内胆，在内胆本体的上端从上而下依次盖合有第一石英盖、第二石英盖，第一石英盖与第二石英盖之间形成排气腔，第二石英盖上设置有第一通气孔，第一通气孔上垂直安装有调压管，排气片盖合在第一通气孔上，在内胆本体的环壁上设有第二通气孔，第二通气孔位于所述第一石英盖与第二石英盖之间，在掺杂过程中，通过排气片、调压管及通气孔可调节石英内胆内的压力，避免冒泡现象的产生，减少

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113549994 B (45)授权公告日 2022.07.01 (21)申请号 202110829948.8 (51)Int.Cl.