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本发明公开了一种横向驱动式电镀槽用电镀离子补充装置,包括横向驱动机构;本发明从驱动开口伸入,旋转横向驱动螺纹筒,进而带动横向移动螺杆进行横向移动,从而带动横向滑动板通过导向杆在移动开槽两侧的导向通道内进行横向移动,如此可以带动整个伸缩驱动组件、安装罩、沉积机构进行横向移动,从而可以根据实际电镀槽的结构调整补充的位置,使用灵活便利。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113430635 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110715600.6 (56)对比文件
(22)申请日 2021.06.28
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