基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质.pdf

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本发明用于工业检测领域，涉及半导体领域，公开了一种基于体全息的三维检测系统、方法、控制器及介质，其中，基于体全息的三维检测系统包括散斑图像生成系统、体全息光学相关器和目标检测系统，散斑图像生成系统用于获取三维目标检测物的三维目标散斑图像；体全息光学相关器用于存储不同深度的多个散斑模板图像，并根据多个散斑模板图像对三维目标散斑图像进行体全息相关运算，以输出三维目标检测物的体全息相关图像；目标检测系统用于对三维目标散斑图像的体全息相关图像进行三维检测；本发明中，利用体全息技术完成信息量庞大的三维目标

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113485082 B (45)授权公告日 2022.05.31 (21)申请号 202110910486.2 G03H 1/08 (2006.01)