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本发明涉及光刻胶技术领域,公开了一种由2‑环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用,所述可降解型树脂单体的结构通式如下:其中R为烷基或杂烷基。可降解型树脂单体上含有叔丁基结构,在曝光时,光致产酸剂会产生酸,在酸的作用下,叔丁基结构会断开,导致聚合主链断开,形成小片段,能够改善光刻图形的边缘粗糙度,提高光刻胶的分辨率,断开后形成了具有良好碱溶性的羟基,有利于显影过程中的溶解,增加曝光后光刻胶在显影液中溶解速度,增大光刻胶的对比度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113429293 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110700758.6 C07F 7/18 (2006.01)
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